產品分類
垂直布里奇曼法（VB）爐（非銥技術）
所屬分類：
Ga2O3單晶生長及外延設備
垂直布里奇曼法（VB）爐（非銥技術）
概要：
本設備主要用于氧化鎵（Ga2O3）單晶生長（無銥法），將原料放在垂直的坩堝內， 然后從坩堝尖端開始通過預設好的溫度梯度區(qū)作定向凝固。通過緩慢降溫而生長出單晶。
關鍵詞：
坩堝下降法（vb）長晶爐
垂直布里奇曼法（VB）爐（非銥技術）
產品概述/Product Introduction：
本設備主要用于氧化鎵（Ga2O3）單晶生長（無銥法），將原料放在垂直的坩堝內， 然后從坩堝尖端開始通過預設好的溫度梯度區(qū)作定向凝固。通過緩慢降溫而生長出單晶。
This equipment is mainly used for single crystal growth of Gallium Oxide (Ga2O3) (non-iridium method), where the raw material is placed in a vertical crucible and then directionally solidified from the tip of the crucible through a pre-set temperature gradient zone. Single crystals are grown by slow cooling.
提供2英寸驗證工藝
Provide 2 inches validation process.
產品特點/Product Characteristics：
♦產量:2-6英寸 Capacity:2-6 inches
♦最高溫度:1850℃ Maximum temperature: 1850°C
♦加熱方式:電阻/RF Heating method: Resistance heating/RF heating
♦自動化:全自動化（除裝取料外） Automation:Full automation (except loading and unloading)
♦氣路:3路 Air Circuit:3 ways
♦襯底:2英寸 Substrate:2 inches
♦單晶:2英寸 高度:30mm Single crystal:2 inches Height:30mm
♦純單晶，沒有雜質，電學性能不做保證 Pure single crystal, no impurities, electrical properties are not guaranteed
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HVPE外延爐——臥式
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